非晶材料在传感器中的应用(2)
作者:佚名; 更新时间:2014-10-15
异性,如此便可获得高透磁率。再就非晶材料的实用性而言,至关重要的一点就是时效稳定性问题。非晶是亚稳定物质,因而当升温达结晶温度以上时就起结晶作用。因此,磁特性、机械特性便随之大幅度降低。这样即使在结晶温度以下的温度领域,磁特性也呈现缓慢变化现象。通过精心热处理,可望减小时效变化。但对使用温度环境下的时效稳定性,须抓住充分斟酌、精心设计这一重要环节。

        

非晶材料在传感器中的应用

                  图2 高透磁率Co基非晶金属的有效透磁率—频率特性

2、低铁耗、大仰角

组合成分为Co 基材料,与高透磁率为同一系统。由于转换电源用的饱和扼流圈等的B-H 曲线(磁化曲线)需用大仰角,因而通过热处理使磁心的磁路方向发生感应各向异性,如此便可获得低铁耗、大仰角的磁特性。

表1 低铁耗大仰角非晶金属的磁特性

Co 基非晶*1

坡莫合金*2

矩形铁素体

铁耗W0.2/100K

900

3800

3400

矩形比B

0.90

0.97

0.88

顽磁力Hc(A/m)

0.56

8.0

40

饱和磁通密度Bs(T)

0.78

1.51

0.40

居里温度(K)

543

773

480

结晶温度(K)

798

---

---

注:*1.片厚20μm *2.片厚100μm

  3、高饱和磁通密度

    基本组合成分为Fe、Si、B,以提高耐蚀性、降低铁耗为目的,还可适量添加Cr、Ni、Nb 等元素。表3 列出高饱和磁通密度Fe 基非晶金属的磁特性,并与方向性硅钢板作了比较。铁耗要比硅钢小1/3~1/5。

  4、高磁通密度

  由于Fe 基非晶金属无结晶磁各向异性,透磁率大,而且磁致伸缩大,即使是弱磁场也能发生大的磁致伸缩,因而作为磁致伸缩材料的应用开发相当活跃。非晶材料的k 值显著大于结晶材料。可用作超声波元件而特别引人注目。

  四、应用

    由于非晶材料具有光吸收系数高、基片材料限制小、性能易于扩展、制作工艺简单等优点,因而作为敏感功能材料倍受青睐,现已日益广泛应用于各种传感器。图3所示为主要用例。

非晶材料在传感器中的应用


                                图3 非晶硅传感器

1、光传感器[6]

有效利用非晶硅的特性便可研制成高性能的光传感器。非晶硅光传感器有光导电池式和光敏二极管式2 种。光敏二极管具有与太阳电池相同的p-i-n 结构,非晶硅光敏二极管的灵敏度和响应时间与单晶硅光敏二极管相近。

①光导电池

图6 所示为未掺杂非晶硅的一个典型特性—光导性与单色光强度的函数关系。在1mW/cm2 的光照下非晶硅的光导性增大3 个数量级,衰减时间约为10ms,其时间拖尾长。

②光敏二极管图3 所示为非晶硅pin 型光敏二极管的结构简图。图4 所示为不同波长时短路电流与单色光强度的函数关系。在很宽的范围内短路电流与光强度均成线性比例关系。波长较短时其短路电流比波长较长时大6~9 倍。图5 所示为非晶硅二极管的响应时间与负载电阻特性的关系曲线。响应时间依赖于负载电阻,影响响应时间的决定因素是RC常数。在同样的负载电阻下对绿光的响应时间比对红光的长,绿光时的导通时间为3.6μs,截止时间为4.5μs。

非晶材料在传感器中的应用

 图3 Pin型光敏二极管结构图                   图4 短路电流与单色光强度的函数关系。

 

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      图5 非晶硅响应时间与浮在电阻的特性的关系曲线

③色传感器

利用非晶硅特性研制成集成型全色传感器。图6 示出结构不同的3 种集成型色传感器。用这类传感器至少可识别12 种颜色。图7 所示为集成型色传感器的光谱响应特性及其与温度的关系。集成型色传感器由红光传感器、绿光传感器及蓝光传感器3 个光传感器组成。当其入射光的强度与相对的波长为均匀状态时,红光、绿光和蓝光传感器的灵敏度比为5:3:2。在20℃~60℃的温度范围内,蓝光传感器和红光传感器的光谱响应变化很小,集成型非晶硅色传感器的响应时间约为1μs。

非晶材料在传感器中的应用

                        图6  集成型色传感器的结构

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       图7 集成型色传感器的光谱响应特性及其与温度的关系

④ 单片光耦合器

任意类型的基片上可在淀积非晶硅,利用此特性来制作单片光耦合器,将非晶硅光敏二极管直接形成在GaP 发光二极管上。非晶硅GaP 单片光耦合器的结构简图如图 8所示,其电流传输比为0.004%,响应时间为10μs。通过优化器件结构,可望进一步提高其性能。单片光耦合器是非晶硅光敏二极管的一个应用实例。

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                 图8  弹片光耦合器的结构简图

⑤图像传感器

线性光传感器的结构简图如图9 所示,研制成宽度为216mm 的传感器阵列,内含1728 个象素。图10 示出在单晶硅基片上制作的图象传感器,由MOS 型扫描器和非晶硅

光导层组成。模式识别传感器是图像传感器的另一个应用实例。图11 示出模式识别传感器的结构简图,由设置在2 块透明板之间的光传感器阵列(16×16,2×2mm)构成。

                                        

非晶材料在传感器中的应用

图9 线性光传感器的结构简图

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                    图10   固态图像传感器的结构简图

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                  图11  模式识别传感器的结构简图

2、温度传感器

首先介绍西贝克效应[7]:

如下图11所示,所谓西贝克效应就是指当一种材料两端有温度差时,在材料内部将形成电场,相应的存在电动势。若把材料两端相连成闭合电路,线路中有电流通过。通

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